激光干涉儀的特點及工作原理

更新時間：2021-03-02

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　　一、激光干涉儀的特點：

　　1、是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量測試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領域應用廣泛。

　　2、產品具有測量精度高、測量速度快、測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。

　　3、在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測，可以進行機床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析，導軌的動態特性分析等，具有*的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。

　　二、激光干涉儀的原理：

　　1、激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個反射鏡。

　　2、這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒有變化時，探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。

　　3、若光程差有變化時，探測器會在每一次光程變化時，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。

　　總結：激光干涉儀的特點及工作原理。看完本文您就應該有了基本的認識和了解相信大家都明白了吧！總的來說，希望對大家有所幫助。